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A thick TiN/TiCN multilayer film by DC magnetron sputtering

来源:  未知   作者:  管理员   时间:  2018-10-09 09:47  点击:  

题名

A thick TiN/TiCN multilayer film by DC magnetron sputtering

作者:资助者:期刊论文
URI标识:http://www.verabridge.com/handle/362003/3471
专题:固体润滑国家重点实验室_期刊论文