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以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能

来源:  未知   作者:  管理员   时间:  2018-10-09 09:24  点击:  

题名

以环戊二烯为碳源制备类富勒烯结构碳基薄膜的结构及力学性能

作者

张庆堂; 吴坤尧; 龚珍彬; 张斌; 张俊彦

所属部门

先进润滑与防护材料研究发展中心

第二所属部门

固体润滑国家重点实验室

所属课题:

纳米润滑研究组

通讯作者

张俊彦

学科分类

材料科学与物理化学::纳米润滑研究

关键词

环戊二烯 ; 碳基薄膜 ; 力学性能 ; 摩擦学性能 ; cyclopentadiene ; carbon-based film ; mechanical property ; tribological property

刊名

中国表面工程

ISSN

1007-9289

发表日期

2014

页码

27, :4, :89-94

收录类别

CSCD

资助者

国家自然科学基金(51275508);国家重点基础研究发展计划(973计划) (2013CB632300)

摘要

以环戊二烯为碳源,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)Si单晶(n-100)面上制备了类金刚石薄膜。采用PEI Tecnai F30 型高分辨透射电镜(HRTEM)和LAMRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜及磨屑的结构进行表征;利用MFT-R4000摩擦磨损试验机、Hysitron Ti-950型原位纳米力学测试系统考察薄膜的摩擦学及力学性能。结果表明:所制备的金刚石薄膜具有富勒烯纳米团簇/非晶复合纳米结构,在磨屑中也出现了这种稳定的片层结构从而起到了良好的减摩作用;并且薄膜表现出优异的力学性能和摩擦学性能:其硬度为26.8 GPa、弹性回复为85%、摩擦因数为0.01。由于这种特殊纳米结构的存在,使得薄膜的力学性能及摩擦学性能显著提高。

语种

中文

影响因子

0.4484

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第二作者单位

引用统计

被引频次[CSCD]:0,  [查看CSCD记录]

内容类型

期刊论文

URI标识

http://www.verabridge.com/handle/362003/7078

专题

固体润滑国家重点实验室_期刊论文

先进润滑与防护材料研究发展中心_期刊论文